近日，36氪獲悉，半導(dǎo)體前道制程量測設(shè)備公司優(yōu)睿譜完成近億元A輪融資，本輪融資由基石浦江領(lǐng)投，渾璞投資、星河資本、中南創(chuàng)投、泓湖資本、杭州盟合、景寧靈岸等跟投。本輪融資將用于新產(chǎn)品的研發(fā)及量產(chǎn)。公司同時(shí)宣布啟用無錫技術(shù)中心和上海金橋研發(fā)中心。

(資料圖)

優(yōu)睿譜成立于2021年，致力于打造高品質(zhì)的半導(dǎo)體前道量測設(shè)備。

半導(dǎo)體量測設(shè)備主要用于半導(dǎo)體制造工藝中缺陷檢測和參數(shù)測量，廣泛用于硅片制造、芯片制造、先進(jìn)封裝領(lǐng)域，如關(guān)鍵尺寸測量設(shè)備、薄膜厚度測量設(shè)備、缺陷檢測設(shè)備等。前道制程量測設(shè)備已超過百億美元市場規(guī)模。而更先進(jìn)的制程工藝也擴(kuò)大了量測設(shè)備的需求，給量測設(shè)備帶來更多新的市場空間。

優(yōu)睿譜自主開發(fā)了半導(dǎo)體專用傅里葉變換紅外光譜測量設(shè)備，可以用來測量外延層厚度及均勻性、元素濃度、硅料雜質(zhì)含量等。

產(chǎn)品方面，優(yōu)睿譜FTIR設(shè)備Eos200Lite可用于碳化硅外延片外延層厚度及均勻性測量，目前已獲得多家頭部碳化硅基外延廠訂單；Eos200/200+, Eos300/300+用于硅基外延片外延層厚度和元素濃度測量設(shè)備也已獲得多家頭部硅基外延廠和FAB廠訂單。

近日，公司的碳化硅自動(dòng)光學(xué)位錯(cuò)微管檢測設(shè)備SICD系列交付客戶，可用于碳化硅襯底的位錯(cuò)及微管缺陷檢測。據(jù)優(yōu)睿譜總經(jīng)理唐德明博士介紹，較國內(nèi)同類功能的設(shè)備，SICD設(shè)備在檢測速度上提升了數(shù)倍。

優(yōu)睿譜產(chǎn)品

優(yōu)睿譜總經(jīng)理唐德明博士表示，由于公司產(chǎn)品線更加豐富、經(jīng)營規(guī)模持續(xù)擴(kuò)大，公司在無錫設(shè)立了技術(shù)中心。本次無錫技術(shù)中心的正式啟用，有助于公司加快對(duì)客戶的產(chǎn)品交付、有助于加快新產(chǎn)品的研發(fā)、驗(yàn)證和量產(chǎn)。優(yōu)睿譜致力于打造高品質(zhì)的半導(dǎo)體前道量測設(shè)備，在深厚的技術(shù)積累基礎(chǔ)上實(shí)現(xiàn)技術(shù)創(chuàng)新，助力中國半導(dǎo)體前道量測設(shè)備自主可控。

優(yōu)睿譜業(yè)務(wù)布局

在創(chuàng)始團(tuán)隊(duì)上，優(yōu)睿譜核心團(tuán)隊(duì)由長期從事半導(dǎo)體行業(yè)的海歸博士和國內(nèi)資深的IC前道制程量測設(shè)備技術(shù)團(tuán)隊(duì)構(gòu)成。目前，優(yōu)睿譜擁有近60名員工。

投資人說：

基石浦江：優(yōu)睿譜團(tuán)隊(duì)的技術(shù)創(chuàng)新和執(zhí)行能力給我們留下深刻的印象。在持續(xù)拓展FTIR設(shè)備應(yīng)用領(lǐng)域外，優(yōu)睿譜還開發(fā)了多款用于其他前道量測場景的檢測和測量設(shè)備，帶動(dòng)公司快速發(fā)展。

渾璞投資合伙人姜寅明：半導(dǎo)體量檢測設(shè)備被看作是半導(dǎo)體制程之眼，在芯片制造的良率管理中扮演著非常重要的角色。當(dāng)前，半導(dǎo)體量檢測設(shè)備面臨著迫切的國產(chǎn)替代需求，優(yōu)睿譜在較短時(shí)間內(nèi)完成了多款量檢測產(chǎn)品的開發(fā)、推廣和驗(yàn)證，充分反映出團(tuán)隊(duì)的深厚技術(shù)積淀、廣闊人脈資源和強(qiáng)大市場能力。

中南創(chuàng)投合伙人王建暉：在半導(dǎo)體制造發(fā)展和制程工藝提升過程中，先進(jìn)的量測設(shè)備必不可少，優(yōu)睿譜正是順勢而生的一家優(yōu)秀的半導(dǎo)體前道量測設(shè)備公司。憑借團(tuán)隊(duì)深厚的研發(fā)能力、上下游供應(yīng)鏈的資源整合能力、敏銳的市場洞察力以及客戶開拓和服務(wù)能力，優(yōu)睿譜成立僅一年半，就推出多款填補(bǔ)國內(nèi)空白的前道量測設(shè)備，并獲得多家知名客戶的訂單和認(rèn)可。